中国电（diàn）科（kē）旗下电（diàn）科装（zhuāng）备研制成功的离子（zǐ）注入机（jī）。中国电科 供图

　　中新网北京3月17日（rì）电 (记者 孙自法)记者17日从（cóng）中国电子科技集团有限公司(中（zhōng）国（guó）电科)获悉，该（gāi）集（jí）团旗下（xià）电科装备已成功实现离子注（zhù）入（rù）机全谱系产品国产化，可（kě）为全球芯（xīn）片制造企业提供离子注入机一（yī）站（zhàn）式解（jiě）决方案。

　　中国（guó）电（diàn）科介绍说，离子注入机（jī）是芯片制造（zào）中的关键装备。电科（kē）装备连续突破大流强长寿命高品（pǐn）质离子源、高（gāo）速晶圆传输等“卡脖子”关键技（jì）术，自主研制出中束流、大束流（liú）、高能、特种应用（yòng）及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28纳米，已累（lèi）计形成核心发明专利413项（xiàng），实（shí）现（xiàn）中国芯片制（zhì）造领（lǐng）域全谱系离子注（zhù）入机（jī）自主创新发展，将有效缓解（jiě）中（zhōng）国（guó）芯片制造领（lǐng）域（yù）断链、短链难（nán）题。

　　中国电科表示，下一步，电科装备将瞄准高端，紧跟先（xiān）进工艺（yì）发展，加快推进适用（yòng）于（yú）更先进（jìn）工艺（yì）节（jiē）点离子注入机的研（yán）发及（jí）产业化（huà）。

　　据了解，中国电科是中国军工电子主力军（jun1）、网信事业（yè）“国家队（duì）”、国家战略（luè）科技力量，拥有（yǒu）电子信息领域相对完备的科技创新体（tǐ）系（xì）。目前（qián），中国（guó）电（diàn）科旗（qí）下包括47家国家级研究院所（suǒ）、11家（jiā）上（shàng）市公司在内的企（qǐ）事业单位（wèi）500余（yú）家，员工20余万名，并（bìng）拥有35个国家级重点实验室、研究中心（xīn）和创新中（zhōng）心。